PROCEDIMIENTO DE CIERRE ESTANCO DE UNA MICROCAVIDAD Y DE UN PAQUETE QUE COMPRENDE AL MENOS UNA MICROCAVIDAD.

摘要

Un procedimiento de cierre hermético de al menos una microcavidad (7) entre una primera oblea (1) y una segunda oblea (2), comprendiendo dicho procedimiento las etapas de proporcionar sobre al menos una de las primera y segunda obleas (1, 2) una configuración cerrada de un material de estanqueidad apropiado para constituir al menos una barrera de difusión (4) y proporcionar un material de unión intermedio (6) separado del material de estanqueidad sobre al menos una de las primera y segunda obleas (1, 2), comprendiendo el material de unión intermedio un adhesivo, la alineación de dichas primera y segunda obleas (1, 2) y la aplicación de presión para constituir la al menos una barrera de difusión (4) y para crear una conexión que una entre sí la primera oblea (1) y la segunda oblea (2).