发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SOI SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR20110022663(A) 申请公布日期 2011.03.07
申请号 KR20117000383 申请日期 2009.06.12
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD. 发明人 OHNUMA HIDETO;MAKINO KENICHIRO;IIKUBO YOICHI;NAGAI MASAHARU;SHIGA AIKO
分类号 H01L27/12;H01L21/20 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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