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发明名称 HEAT TREATING APPARATUS, HEAT TREATING METHOD AND STORAGE MEDIUM
摘要
申请公布号 KR101019814(B1) 申请公布日期 2011.03.04
申请号 KR20070023958 申请日期 2007.03.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/324;H01L21/027 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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