SUBSTRATE TABLE AND PLASMA PROCESS APPARATUS USING THE SAME,申请号KR20080054848-传众专利搜索

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发明名称	SUBSTRATE TABLE AND PLASMA PROCESS APPARATUS USING THE SAME
摘要
申请公布号	KR101019880(B1)	申请公布日期	2011.03.04
申请号	KR20080054848	申请日期	2008.06.11
申请人		发明人
分类号	H01L21/3065;H01L21/683;H01L21/687	主分类号	H01L21/3065
代理机构		代理人
主权项
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