发明名称 PREPARATION DE SURFACE D'UN SUBSTRAT SAPHIR POUR LA REALISATION D'HETEROSTRUCTURES
摘要
申请公布号 FR2938702(B1) 申请公布日期 2011.03.04
申请号 FR20080057854 申请日期 2008.11.19
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES 发明人 GAUDIN GWELTAZ;KENNARD MARK;PICCIN MATTEO;RADU IONUT;VAUFREDAZ ALEXANDRE
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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