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发明名称 SYSTEM AND APPARATUS TO FACILITATE PHYSICAL VAPOR DEPOSITION TO MODIFY NON-METAL FILMS ON SEMICONDUCTOR SUBSTRATES
摘要
申请公布号 US2011048934(A1) 申请公布日期 2011.03.03
申请号 US20090551356 申请日期 2009.08.31
申请人 SEMICAT, INC. 发明人 KIM JIN HYUN;NAM MICHAEL;PARK JAE YEOL;PARK JONGGU
分类号 C23C14/34;C23C14/35 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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