Einstellung der Austrittsarbeit in Gate-Stapeln mit großemε, die Gatedielektrika mit unterschiedlicher Dicke enthalten

摘要

In komplexen Fertigungstechniken wird die Austrittsarbeit und damit die Schwellwertspannung von Transistorelementen in einer frühen Fertigungsphase eingestellt, indem eine austrittsarbeitseinstellende Stoffsorte in dem dielektrischen Material mit großem ε mit im Wesentlichen der gleichen räumlichen Verteilung in den Gatedielektrikumsmaterialien mit unterschiedlicher Dicke bereitgestellt wird. Nach dem Einbau der austrittsarbeitseinstellenden Stoffsorte wird die endgültige Dicke der Gatedielektrikumsmaterialien eingestellt, indem selektiv eine zusätzliche dielektrische Schicht so gebildet wird, dass die weitere Strukturierung der Gateelektrodenstrukturen mit einem hohen Grad an Kompatibilität zu konventionellen Fertigungstechniken bewerkstelligt werden kann. Folglich werden äußerst komplexe Prozesse zum erneuten Einstellen der Schwellwertspannungen von Transistoren mit unterschiedlichen dicken Gatedielektrikumsmaterialien vermieden.