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发明名称
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摘要
申请公布号
KR101018519(B1)
申请公布日期
2011.03.03
申请号
KR20047020620
申请日期
2003.06.03
申请人
发明人
分类号
G03F7/00;G03F7/11;B81C99/00;G03F1/00;H01L21/027
主分类号
G03F7/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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