发明名称 Oberflächenaufrauungsverfahren für ein Substrat und Herstellungsverfahren für eine Fotovoltaische Vorrichtung
摘要
申请公布号 DE112009000924(T5) 申请公布日期 2011.03.03
申请号 DE20091100924T 申请日期 2009.03.23
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP. 发明人 NISHIMURA, KUNIHIKO;MATSUNO, SHIGERU
分类号 H01L21/306;H01L31/04 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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