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发明名称
摘要
申请公布号 FR2119930(A1) 申请公布日期 1972.08.11
申请号 FR19710040205 申请日期 1971.11.04
申请人 IBM 发明人
分类号 H01L21/314;H01L21/316;H01L23/522;(IPC1-7):01L7/00;23C15/00 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
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