Kapazitiver Sensor und Aktor

摘要

Die Erfindung betrifft einen kapazitiven Sensor und einen kapazitiven Aktor mit mindestens einer auslenkbar an einem Substrat befestigten seismischen Masse. Dabei ist an der seismischen Masse eine Kammelektrode (1) mit Kammfingern (2) und an dem Substrat eine Kammelektrode (2) mit Kammfingern (2') derart befestigt, dass die Kammfinger (2) und (2') parallel zu einer Auslenkrichtung (3) der seismischen Masse angeordnet sind und kammartig ineinander greifen. Die Kennlinie des Sensors bzw. Aktors ist durch Optimierung der Geometrie wenigstens einer Kammelektrode (1, 1'), insbesondere wenigstens eines Kammfingers (2, 2'), eingestellt.