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发明名称 Muster zur Messung der Aberration einer Stepper-Linze und Auswertungsverfahren der Aberrations-Merkmale einer Stepper-Linze
摘要
申请公布号 DE60045537(D1) 申请公布日期 2011.03.03
申请号 DE20006045537 申请日期 2000.03.16
申请人 OKI ELECTRIC INDUSTRY CO. LTD. 发明人 WATANABE, AKIRA;NARA, AKIHIKO
分类号 G01M11/02;H01L21/027;G01B11/00;G03F7/20;H01L21/66 主分类号 G01M11/02
代理机构 代理人
主权项
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