发明名称 Verfahren zur Herstellung von Feldeffekttransistoren mit Technik zum lokalen Anpassen von Transistoreigenschaften durch Verwenden fortschrittlicher Laser/Blitzlichtausheizverfahren geeignet auch für die Herstellung von Transistorelementen von SRAM-Zellen
摘要
申请公布号 DE102006046376(B4) 申请公布日期 2011.03.03
申请号 DE200610046376 申请日期 2006.09.29
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES INC. 发明人 PRESS, PATRICK;ROMERO, KARLA;TRENTZSCH, MARTIN;WIECZOREK, KARSTEN;FEUDEL, THOMAS;LENSKI, MARKUS;STEPHAN, ROLF
分类号 H01L21/336;H01L21/268;H01L21/8244 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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