| 发明名称 | 电极结构 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种电极结构，其适于承载一基板。电极结构包括一电极部。电极部具有一正面、一与正面相对的背面以及多个贯通正面与背面的冷却气体通入孔，其中冷却气体通入孔沿着多条参考线配置，各参考线是从电极部的中心延伸至电极部的边缘，且排列于同一条参考线上的冷却气体通入孔的排列间距是先递减再递增。 | ||
| 申请公布号 | CN101982868A | 申请公布日期 | 2011.03.02 |
| 申请号 | CN201010297916.X | 申请日期 | 2010.09.27 |
| 申请人 | 友达光电股份有限公司 | 发明人 | 吴仲尧;徐弘迪;杨总胜;陈信宏;魏仲立;廖本毅;江舜彦;陈俊荣;廖仁助;陈璟桦;张皓岚;宋嘉恩;陈振维;杨胜淼;曾景义;陈冠字;陈厚任;王春盛 |
| 分类号 | H01J37/04(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 陈小雯 |
| 主权项 | 一种电极结构，其适于承载一基板，该电极结构包括：电极部，具有一正面、一与该正面相对的背面以及多个贯通该正面与该背面的冷却气体通入孔，其中该些冷却气体通入孔沿着多条参考线配置，各该参考线是从该电极部的中心延伸至该电极部的边缘，且排列于同一条参考线上的冷却气体通入孔的排列间距是先递减再递增。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹市 | ||