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发明名称 METHODS FOR FORMING FIN FET DEVICES FROM BULK SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 EP1532659(B1) 申请公布日期 2011.03.02
申请号 EP20030736783 申请日期 2003.06.03
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 FRIED, DAVID M.;NOWAK, EDWARD, J.;RAINEY, BETH, ANN;SADANA, DEVENDRA, K.
分类号 H01L21/336;H01L27/088;H01L21/265;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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