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发明名称 Fabrication of polycrystalline 3C-SiC micro pressure
摘要
申请公布号 KR101018922(B1) 申请公布日期 2011.03.02
申请号 KR20080072906 申请日期 2008.07.25
申请人 发明人
分类号 H01L29/84 主分类号 H01L29/84
代理机构 代理人
主权项
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