化学放大型抗蚀剂组合物和图案形成方法

摘要

一种包含聚合物的化学放大型抗蚀剂组合物，所述聚合物包含具有足够极性以赋予聚合物粘附力的单元和在酸作用下变为碱溶性的酸不稳定单元。所述聚合物包含具有通式(1)的重复单元，其中R¹为H、F、CH₃或CF₃，Rf为H、F、CF₃或CF₂CF₃，A是二价的烃基，R²、R³、R⁴为烷基、烯基、氧代烷基、芳基、芳烷基或芳氧代烷基。包含芳环结构的重复单元的存在量为≥60mol％，而具有通式(1)的重复单元的存在量＜5mol％。

主权项

1.一种包含聚合物的化学放大型抗蚀剂组合物，所述聚合物包含分子内具有足够极性以赋予聚合物粘附力的单元和被酸不稳定基团保护且在酸作用下变为碱溶性的单元，所述聚合物进一步包含具有通式(1)的重复单元：其中R¹各自独立地为氢、氟、甲基或三氟甲基，Rf各自独立地为氢、氟、三氟甲基或五氟乙基，所有的Rf不能同时为氢，A是二价的C₁-C₁₀烃基，其中一些或所有的氢原子可被氟原子取代，或者其中一些亚甲基可被氧替代，R²、R³和R⁴各自独立地为取代或未取代的直链或支链C₁-C₁₀烷基、烯基或氧代烷基，或是取代或未取代的C₆-C₁₈芳基、芳烷基或芳氧代烷基，或者R²、R³和R⁴中的至少两个与硫原子键合在一起形成环，其中，包含芳环结构的重复单元的存在量为至少60mol％且具有通式(1)的重复单元的存在量小于5mol％，基于聚合物总重复单元计。