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发明名称 Mechanism for fixing probe card
摘要
申请公布号 EP2230527(A3) 申请公布日期 2011.03.02
申请号 EP20100005629 申请日期 2003.10.29
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 YONEZAWA, TOSHIHIRO
分类号 G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
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