Dry module of Flat Panel Display manufacturing,申请号KR20080114626-传众专利搜索

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发明名称	Dry module of Flat Panel Display manufacturing
摘要
申请公布号	KR101018031(B1)	申请公布日期	2011.03.02
申请号	KR20080114626	申请日期	2008.11.18
申请人		发明人
分类号	H01L21/302;G02F1/13;H01L21/304	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
主权项
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