| 发明名称 |
METHOD OF SELECTIVE CHEMICAL VAPOR DEPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3697343(A) |
申请公布日期 |
1972.10.10 |
| 申请号 |
USD3697343 |
申请日期 |
1970.12.16 |
| 申请人 |
INTERN. BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
JEROME J. CUOMO;ROBERT A. LAFF |
| 分类号 |
C23C16/02;H01L21/00;H01L49/02;H05K3/14;(IPC1-7):C03C15/00 |
主分类号 |
C23C16/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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