发明名称 |
集成ESD保护的功率MOSFET或IGBT及制备方法 |
摘要 |
本发明是对集成ESD保护的功率MOSFET或IGBT改进,其特征是ESD保护单元的多晶二极管组中各P型区浓度与功率MOSFET或IGBT的P阱浓度相同,各N型区浓度与功率MOSFET或IGBT的N+源相同;多晶二极管组在栅极压焊区与元胞区间半环绕栅极压焊区设置,如果为栅插指结构,将半环绕的多晶二极管组中间由栅极插指结构隔开,形成不连通的左右L型,其中多晶二极管的各P型区和各N型区,分别由功率MOSFET或IGBT的P阱和N+源注入和扩散形成。所得ESD保护的功率MOSFET或IGBT,栅极与源极间漏电小,制备时栅、源极间击穿电压可调,ESD泄放能力高、可靠性好,制造简单。 |
申请公布号 |
CN101982881A |
申请公布日期 |
2011.03.02 |
申请号 |
CN201010502011.1 |
申请日期 |
2010.09.24 |
申请人 |
江苏东光微电子股份有限公司 |
发明人 |
钱梦亮;陈俊标;李泽宏 |
分类号 |
H01L27/02(2006.01)I;H01L29/861(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/02(2006.01)I |
代理机构 |
宜兴市天宇知识产权事务所 32208 |
代理人 |
史建群;蔡凤苞 |
主权项 |
集成ESD保护的功率MOSFET或IGBT,包括跨接在功率MOSFET或IGBT栅、源极间的ESD保护单元,其特征在于ESD保护单元的多晶二极管组中各P型区浓度与功率MOSFET或IGBT的P阱浓度相同,各N型区浓度与功率MOSFET或IGBT的N+源相同;多晶二极管组在栅极压焊区与元胞区间半环绕栅极压焊区设置,如果为栅插指结构,将半环绕的多晶二极管组中间由栅极插指结构隔开,形成不连通的左右L型。 |
地址 |
214204 江苏省宜兴市新街百合工业园 |