发明名称
摘要
申请公布号 JP4644006(B2) 申请公布日期 2011.03.02
申请号 JP20050057294 申请日期 2005.03.02
申请人 发明人
分类号 H01L21/762;H01L21/76 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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