| 发明名称 | 外延片生产用支撑装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种外延片生产用支撑装置，包括承载盘，其特征在于，还包括支撑架，所述支撑架端部安装有衬套，所述衬套为多边形，所述承载盘设置有与衬套相配合的第一凹槽，所述衬套卡设在第一凹槽内。本实用新型中的外延片生产用支撑装置，由于采用多边形的衬套，衬套与通过支撑架驱动承载盘转动的过程中，支撑架与承载盘之间不会产生相对运动。可确保承载盘按照预定的方向和速度转动，运转稳定。进而可以提高外延片的生产质量。 | ||
| 申请公布号 | CN201754401U | 申请公布日期 | 2011.03.02 |
| 申请号 | CN201020246539.2 | 申请日期 | 2010.07.01 |
| 申请人 | 上海晶盟硅材料有限公司 | 发明人 | 楼琦江 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人 | 李强 |
| 主权项 | 外延片生产用支撑装置，包括承载盘，其特征在于，还包括支撑架，所述支撑架端部安装有衬套，所述衬套为多边形，所述承载盘设置有与衬套相配合的第一凹槽，所述衬套卡设在第一凹槽内。 | ||
| 地址 | 201707 上海市青浦区北青公路8228号二区48号 | ||