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经营范围
发明名称
晶圆处理用加热器组件
摘要
申请公布号
申请公布日期
2011.03.01
申请号
TW098306285
申请日期
2009.12.25
申请人
东京威力科创股份有限公司
发明人
田中澄;小松智仁;川崎裕雄
分类号
1599
主分类号
1599
代理机构
代理人
林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址
日本
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