发明名称 制造半导体装置之方法及其中使用之导电组合物
摘要
申请公布号 申请公布日期 2011.03.01
申请号 TW095113535 申请日期 2006.04.14
申请人 杜邦股份有限公司 发明人 月里 王;艾伦 弗瑞德瑞克 卡罗;肯尼士 瓦伦 汉;理查 约翰 旭菲得 杨
分类号 H01B1/12 主分类号 H01B1/12
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项 一种厚膜导电组合物,其包含:a)导电银粉;b)含锰添加剂,以及选自由Zn、ZnO、在烧制时可产生ZnO之化合物、及其混合所组成之群之添加剂;c)玻璃粉,其中该玻璃粉具有在300℃至600℃范围内之软化点,且包含以总玻璃粉组合物重量百分比计之0.1-8重量百分比SiO2;且所有a)至c)分散于有机介质中。一种厚膜导电组合物,其包含:a)导电银粉b)含锰添加剂,以及选自由Zn、ZnO、在烧制时可产生ZnO之化合物、及其混合所组成之群之添加剂;c)无铅玻璃粉,其中该玻璃粉具有在300℃至600℃范围内之软化点,且包含以总玻璃粉组合物重量百分比计之0.1-8重量百分比SiO2;且所有a)至c)分散于有机介质中。如请求项1或2之组合物,其进一步包含一额外金属/金属氧化物添加剂,其系选自(a)一金属,其中该金属系选自Ti、Sn、Pb、Ru、Co、Fe、Cu及Cr;(b)一金属氧化物MOx,其中M系选自Ti、Sn、Pb、Ru、Co、Fe、Cu及Cr;(c)任何在烧制时可产生(b)之该等金属氧化物之化合物;及(d)其混合物。如请求项1或2之组合物,其中该含锰添加剂为MnO2。如请求项1或2之组合物,其中该含锰添加剂为锰之有机金属化合物。如请求项1或2之组合物,其中该含锰添加剂为一在烧制条件期间可产MnO2之化合物。如请求项1或2之组合物,其中该含锰添加剂之粒径系在7奈米至小于100奈米之范围内且其中该含锰添加剂系粉末形式。如请求项1或2之组合物,其中该玻璃粉为一无铅玻璃粉,其以总玻璃粉组合物之重量百分比计包含:SiO20.1-8、Al2O30-4、B2O38-25、CaO 0-1、ZnO 0-42、Na2O 0-4、Li2O 0-3.5、Bi2O328-85、Ag2O 0-3、CeO20-4.5、SnO20-3.5、BiF30-15。一种基板,其包含如请求项1或2之组合物,其中该组合物已经处理以移除该有机介质且烧结该玻璃粉及银粉。一种电极,其形成自如请求项1或2之组合物,其中该组合物已经处理以移除该有机介质且烧结该玻璃粉及银粉。一种用一结构元件制造一半导体装置之方法,此结构元件由一具有一p-n接合点之半导体及一形成于该半导体之一主要表面上之绝缘膜组成,此方法包含以下步骤:(a)将如请求项1或2之厚膜导电组合物施加于该绝缘膜上;及(b)烧制该半导体、绝缘膜及厚膜组合物以形成一电极。如请求项11之方法,其中该绝缘膜系选自包含下列物质之群:氮化矽膜、氧化钛膜、SiNx:H膜、氧化矽膜及氧化矽/氧化钛膜。一种半导体装置,其形成自如请求项1之组合物,其中该组合物已经处理以移除该有机介质且烧结该玻璃粉及银粉。
地址 美国