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一种电浆生成方法，系于电浆生成室内的顶壁面设置复数根不绕回下终端的U字状的高频天线，使用该高频天线来对该电浆生成室内气体施加高频电力而使电感耦合型电浆发生之电浆生成方法，其特征为：有关该复数根高频天线中至少一部份的复数根高频天线，系依序比隣，且以各比隣的高频天线能够在被该各高频天线所包围的平面状领域彼此形成相向的并列配置之方式来设置，且以分别在该高频天线电流能够流动于同方向的方式，在该等高频天线从同侧的天线端部来供给高频电力。如申请专利范围第1项之电浆生成方法，其中，往上述高频天线之上述高频电力供给，系从配置于上述电浆生成室的顶壁上方的汇流条来分别供给高频电力至各高频天线的同侧的天线端部。一种电浆生成装置，其系具有电浆生成室、设置于该电浆生成室内的顶壁面的复数根不绕回下终端的U字状的高频天线、及于该高频天线供给高频电力的高频电力供给装置，从该高频天线来将由该高频电力供给装置所供给的高频电力施加于该电浆生成室内气体，而使电感耦合型电浆发生之电浆生成装置，其特征为：该复数根高频天线中至少一部份的复数根高频天线，系依序比隣，且以各比隣的高频天线能够在被该各高频天线所包围的平面状领域彼此形成相向的并列配置之方式来设置，该高频电力供给装置系以分别在高频天线电流能够流动于同方向的方式，在该等高频天线从同侧的天线端部来供给高频电力，上述高频天线系依序比隣，且以各比隣的高频天线能够在被该各高频天线所包围的平面状领域彼此形成相向的并列配置之方式来设置。如申请专利范围第3项之电浆生成装置，其中，上述高频电力供给，系从配置于上述电浆生成室的顶壁上方的汇流条来分别供给高频电力至各高频天线的同侧的天线端部。一种电浆处理装置，系于电浆之下对被处理物施以目的的处理之电浆处理装置，其特征为包含申请专利范围第3或4项所记载的电浆生成装置。 |
