发明名称 MANUFACTURING METHOD FOR NITRIDE-LAYER OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR101017758(B1) 申请公布日期 2011.02.28
申请号 KR20080091999 申请日期 2008.09.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/318;H01L21/302 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
主权项
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