发明名称 POSITIVE-TYPE RESIST COMPOSITION AND METHOD FOR FORMATION OF RESIST PATTERN
摘要
申请公布号 KR101016930(B1) 申请公布日期 2011.02.28
申请号 KR20097004733 申请日期 2007.08.07
申请人 发明人
分类号 G03F7/039 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
地址