发明名称 APPARATUS FOR CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号 KR101018194(B1) 申请公布日期 2011.02.28
申请号 KR20080024331 申请日期 2008.03.17
申请人 发明人
分类号 C23C16/455;C22C16/00 主分类号 C23C16/455
代理机构 代理人
主权项
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