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发明名称 Supersonic nozzle and wafer cleaning apparatus compring the same
摘要
申请公布号 KR101017104(B1) 申请公布日期 2011.02.25
申请号 KR20080113401 申请日期 2008.11.14
申请人 发明人
分类号 H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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