| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft Körper aus Metall, Hartmetall, Cermet, Keramik oder Halbleiterwerkstoff, die mit einer Al2O3-Schicht oder einem mehrlagigen Schichtsystem, das mindestens eine Al2O3-Schicht enthält, beschichtet sind, sowie Verfahren zur Beschichtung derartiger Körper. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, Körper aus Metall, Cermet, Keramik oder Halbleiterwerkstoff mit einer oder mehreren Al2O3-Schichten zu beschichten, die sich durch eine große Härte > 27 GPa und eine bessere Verschleißfestigkeit im Vergleich zu herkömmlichen Al2O3-Schichten auszeichnen und die sich kostengünstig herstellen lassen. Die erfindungsgemäß beschichteten Körper sind dadurch gekennzeichnet, dass die Al2O3-Schicht vollständig oder überwiegend aus einem Phasengemisch aus ?(theta)-Aluminiumoxid und ?(gamma)-Aluminiumoxid besteht. Zur Herstellung derartig beschichteter Körper beinhaltet die Erfindung ein Verfahren, bei dem die Körper mittels eines thermischen CVD-Prozesses ohne Plasmaanregung bei Temperaturen zwischen 700°C und 1050°C und Drücken > 0,2 kPa beschichtet werden, wobei als Sauerstoffprecursor N2O und als Al-Precursor ein oder mehrere Aluminiumhalogenide eingesetzt werden. Die erfindungsgemäße Schicht eignet sich ausgezeichnet als Verschleißschutzschicht, beispielsweise zur Beschichtung von Si3N4- und WC/Co-Wendeschneidplatten. Die Schicht kann aber auch als elektrisch isolierende Schicht auf verschiedenen Bauelementen wie z.B. elektrische Durchführungen aufgebracht werden.</p> |
