| 发明名称 |
VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM ABSCHEIDEN KRISTALLINER SCHICHTEN WAHLWEISE MITTELS MOCVD ODER HVPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE502008002286(D1) |
申请公布日期 |
2011.02.24 |
| 申请号 |
DE200850002286T |
申请日期 |
2008.02.21 |
| 申请人 |
AIXTRON AG |
发明人 |
KAEPPELER, JOHANNES;SCHMITZ, DIETMAR |
| 分类号 |
C30B25/10;C23C16/46;C30B29/40;C30B29/48 |
主分类号 |
C30B25/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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