发明名称 A graytone mask and a method of manufacturing a thin film transistor substrate
摘要
申请公布号 KR101016464(B1) 申请公布日期 2011.02.24
申请号 KR20060026088 申请日期 2006.03.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;G02F1/1368;G03F1/54;G03F1/68;H01L29/786 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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