发明名称 Herstellungsverfahren einer Halbleitervorrichtung
摘要
申请公布号 DE602005025850(D1) 申请公布日期 2011.02.24
申请号 DE200560025850T 申请日期 2005.10.10
申请人 FUJITSU LTD. 发明人 MAKIYAMA, KOZO
分类号 H01L21/027;H01L21/335 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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