| 发明名称 |
DIELECTRIC PROTECTIVE LAYER FOR A SELF-ORGANIZING MONOLAYER (SAM) |
| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine dielektrische Schutzschicht, bei der zur Erhöhung der Dielektrizitätskonstante Nanopartikel eingebaut sind, die, um die geringe Teilchengröße zur Abscheidung dünnster Filme zu erhalten, mit einer Schutzhülle gegen Agglomeration umgeben sind.</p> |
| 申请公布号 |
WO2011020685(A1) |
申请公布日期 |
2011.02.24 |
| 申请号 |
WO2010EP61044 |
申请日期 |
2010.07.29 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT;CHEEMA, TARIK;GARNWEITNER, GEORG;SCHMID, GUENTER;TAROATA, DAN |
发明人 |
CHEEMA, TARIK;GARNWEITNER, GEORG;SCHMID, GUENTER;TAROATA, DAN |
| 分类号 |
H05K1/16;B22F1/00;C01G1/02;H01G4/12;H05K3/00 |
主分类号 |
H05K1/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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