发明名称 CAPACITY TYPE PRESSURE SENSOR AND METHOD OF MANUFACTURING THE PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 EP1316786(B1) 申请公布日期 2011.02.23
申请号 EP20010945787 申请日期 2001.07.03
申请人 YAMATAKE CORPORATION 发明人 ISHIKURA, YOSHIYUKI
分类号 G01L9/12;G01D5/241;G01L9/00;H01G4/38;H01G5/00;H01G5/014;H01G5/16;H01L29/84 主分类号 G01L9/12
代理机构 代理人
主权项
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