改良的承载头薄膜

摘要

本发明提出用于平坦化基底的方法及设备。提出具有改良的外罩的基底承载头以牢固地握持基底。外罩可具有珠部，其尺寸大于与其进行配适的凹部，从而通过压缩力在凹部内形成共形的密封。珠部亦可不经涂覆，以加强珠部与沟槽表面的附着力。可将外罩表面粗糙化，以降低基底对外罩的附着力，而不需使用不粘黏涂层。

主权项

一种用于基底承载头的薄膜，所述薄膜包括：表面，用于与基底接合；以及珠部，位于所述表面的边缘，用于与所述承载头中的接收结构接合，其中，所述表面具有至少约10微英寸的粗糙度(Ra)。