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发明名称
摘要
申请公布号	JP4639686(B2)	申请公布日期	2011.02.23
申请号	JP20040218311	申请日期	2004.07.27
申请人		发明人
分类号	C23C16/18;C07C257/14;C07F15/00;H01L21/28;H01L21/285	主分类号	C23C16/18
代理机构		代理人
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