换滤芯时不影响后研磨作业的晶圆研磨液产出结构

摘要

一种换滤芯时不影响后研磨作业的晶圆研磨液产出结构，主要由一混酸稀释晶圆研磨原液的混酸槽、至少一只滤除过大微粒的过滤器、及一储备并供应拌妥晶圆研磨液到晶圆研磨机的供应槽管接而成，该些过滤器不设于供应槽的供应槽输出管，而设于供应槽的供应槽输入管。本实用新型使产出当中，过滤器的滤芯阻塞到设定限度时，不停机换新滤芯的短暂抢修期间，仍能借由供应槽内稳定的拌妥晶圆研磨液存量，及畅通不受换修滤芯波及的供应槽输出管，使晶圆研磨机仍有稳定的研磨液压力及流量进行研磨，保持晶圆研磨良率，可将更小微粒过滤去除，降低研磨晶圆刮伤表面的机率。

主权项

一种换滤芯时不影响后研磨作业的晶圆研磨液产出结构，主要由一混酸稀释晶圆研磨原液的混酸槽、至少一只滤除过大微粒的过滤器、及一储备并供应拌妥晶圆研磨液到晶圆研磨机的供应槽管接而成，其特征在于：该些过滤器不设于供应槽的供应槽输出管，而设于供应槽的供应槽输入管。