发明名称
摘要
申请公布号 JP4634546(B2) 申请公布日期 2011.02.23
申请号 JP19990540182 申请日期 1999.01.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/266;H01L21/22;H01L21/225;H01L21/329;H01L21/331;H01L21/336;H01L29/08;H01L29/739;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L21/266
代理机构 代理人
主权项
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