涡轮式分子泵

摘要

一种涡轮式分子泵，包括基座(3)、能够旋转地支撑在基座上的转子(4)；围绕转子(4)设置的定子(400)、和被配置为容纳定子的管状壳体(2)。定子(400)包括多级定子叶片(43)和隔离装置(48)，所述定子叶片和隔离装置相互交替地堆叠在基座(3)的法兰表面(31)上。至少一个隔离装置(48)设置有其的连续形成的圆环形部件(483)，该圆环形部件覆盖其它隔离装置(48)的位于所述壳体(2)内部的外圆周表面。

主权项

一种涡轮式分子泵，包括基座；能够旋转地支撑在所述基座上的转子；围绕转子设置的定子；和被配置为容纳所述定子的圆筒形壳体；其中所述定子包括多级定子叶片和隔离装置，所述定子叶片和隔离装置从其第一级到末级相互交替地堆叠在所述基座的法兰表面上，并且所述隔离装置中的至少一个设置有其连续形成的圆环形部件，所述圆环形部件覆盖位于所述壳体内部的其它隔离装置的外圆周表面。