光子钟稳频激光梳处理

摘要

以一激光处理一工件包含按第一脉冲重复频率产生激光脉冲。该第一脉冲重复频率提供一射束定位系统与一或更多协同射束位置补偿构件的协调的参考计时，借此相对于该工件校齐射束递送坐标。该方法也包含，按一低于该第一脉冲重复频率的第二脉冲重复频率对该等激光脉冲的一子集合进行选择性放大。该等包含在该子集合内的激光脉冲的选择是基于该第一脉冲重复频率以及自该射束定位系统所接收的位置数据。该方法进一步包含利用该一或更多协同射束位置补偿构件来调整该等射束递送坐标，借此将该等经放大激光脉冲导引至该工件上的选定目标。

主权项

一种用于以一激光处理一工件的方法，该方法包含：按第一脉冲重复频率产生激光脉冲，该第一脉冲重复频率提供一射束定位系统与一或更多协同射束位置补偿构件的协调的参考计时，借此相对于该工件校齐射束递送坐标；按一低于该第一脉冲重复频率的第二脉冲重复频率，对该等激光脉冲的一子集合进行选择性放大，其中该等包含在该子集合内的激光脉冲的选择是基于该第一脉冲重复频率以及自该射束定位系统所接收的位置数据；以及利用该一或更多协同射束位置补偿构件来调整该等射束递送坐标，借此将该等经放大的激光脉冲导引至该工件上的选定目标。