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发明名称
摘要
申请公布号
JP4634569(B2)
申请公布日期
2011.02.23
申请号
JP20000155091
申请日期
2000.05.25
申请人
发明人
分类号
H01J37/317;H01L21/265;H01L21/336;H01L29/786
主分类号
H01J37/317
代理机构
代理人
主权项
地址
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