发明名称
摘要
申请公布号 JP4634569(B2) 申请公布日期 2011.02.23
申请号 JP20000155091 申请日期 2000.05.25
申请人 发明人
分类号 H01J37/317;H01L21/265;H01L21/336;H01L29/786 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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