光电式微位移测量装置

摘要

光电式微位移测量装置，涉及光电测量技术领域，具体涉及光电测量技术中测量微位移的装置。本发明为解决现有微位移测量装置的体积大，测量精度低且稳定差，易受电器噪声干扰等问题，其结构包括壳体、主光栅固定架、主轴、导向轴、主光栅、发光组件、指示光栅、指示光栅固定架、光电接收组件、信号处理元件和接触探头；主光栅固定架固定在主轴上，主光栅固定在主光栅固定架上，指示光栅固定在指示光栅固定架上，指示光栅固定架固定在与主光栅固定架相对位置的壳体上；光电接收组件和信号处理元件分别固定在指示光栅固定架外侧的壳体上，发光组件和导向轴分别固定在主光栅固定架外侧的壳体上；接触探头设置在主轴的底端。本发明适用于微位测量领域。

主权项

光电式微位移测量装置，包括壳体(1)、主光栅固定架(2)、主轴(3)、导向轴(4)、主光栅(5)、发光组件(6)、指示光栅(7)、指示光栅固定架(8)、光电接收组件(9)、信号处理元件(10)和接触探头(11)；其特征是，主光栅固定架(2)固定在主轴(3)上，主光栅(5)固定在主光栅固定架(2)上，指示光栅(7)固定在指示光栅固定架(8)上，所述指示光栅固定架(8)固定在与主光栅固定架(2)相对位置的壳体(1)上；所述光电接收组件(9)和信号处理元件(10)分别固定在指示光栅固定架(8)外侧的壳体(1)上，发光组件(6)和导向轴(4)分别固定在主光栅固定架(2)外侧的壳体(1)上；接触探头(11)设置在主轴(3)的底端。