| 发明名称 | 簇射极板以及利用簇射极板的等离子体处理装置 | ||
| 摘要 | 簇射极板(300)包括第一平板(301)，第二平板(302)和第三平板(303)。传热介质流于其中的流道(303a)形成在第三平板(303)的表面中，面向第二平板(302)。一种网格约以90°相互交叉的点阵形成在第三平板(303)的中心区域，并且该流道(303a)约以90°弯曲，其相当于网格相互交叉的角度。通过以这种方式弯曲流道(303a)，大量的流道(303a)可以设置在，特别是加热到很高温度的中心区域，从而可以充分地冷却簇射极板。 | ||
| 申请公布号 | CN101981669A | 申请公布日期 | 2011.02.23 |
| 申请号 | CN200980110451.8 | 申请日期 | 2009.03.06 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 西本伸也 |
| 分类号 | H01L21/31(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/31(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京高默克知识产权代理有限公司 11263 | 代理人 | 汪振中 |
| 主权项 | 一种簇射极板包括：第一部件；与第一部件叠加并连接的第二部件；以及一个形成在第一部件表面上的凹槽，该表面面向第二部件，并且通过用第二部件叠加，该凹槽的功能等同于传热介质流于其中的流道，其中该流道的侧壁在平行于第一部件和第二部件的连接平面的平面里弯曲。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||