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发明名称
DEVICE FOR POSITIONING AND/OR PRESSING A PLANAR COMPONENT RELATIVE TO A SUBSTRATE AND METHOD FOR POSITIONING A PICKING TOOL RELATIVE TO A SUBSTRATE
摘要
申请公布号
EP2089899(B1)
申请公布日期
2011.02.23
申请号
EP20060819196
申请日期
2006.10.31
申请人
KULICKE & SOFFA DIE BONDING GMBH
发明人
SCHUSTER, JOHANNES;EISENRING, STEFAN
分类号
H01L21/68;H01L21/00;H01L21/683
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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