发明名称 Magnetron sputtering source, sputter coating system and method for coating a substrate
摘要
申请公布号 EP1923902(B1) 申请公布日期 2011.02.23
申请号 EP20060124060 申请日期 2006.11.14
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 KREMPEL-HESSE, JOERG
分类号 H01J37/34;C23C14/35 主分类号 H01J37/34
代理机构 代理人
主权项
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