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发明名称 Batch Type Heat Treatment Apparatus
摘要
申请公布号 KR101016065(B1) 申请公布日期 2011.02.23
申请号 KR20090007371 申请日期 2009.01.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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