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一种子孔径拼接干涉检测光学非球面面形的装置，其特征在于包括干涉仪，透射球、调整机构、数控设备及计算机；所述干涉仪出射的平行光经透射球转变为标准球面波；计算机通过数控设备控制调整机构动作，以调整干涉仪与待测非球面的相对位置，使得该标准球面波逐次入射到被测光学非球面的各子孔径并返回干涉仪；计算机提取干涉仪测量的各子孔径相位分布数据，对其进行分析和处理，并通过拼接算法获得被测光学非球面全口径的面形误差分布；所述计算机包括：被测光学非球面面形参数存储模块；子孔径划分和子孔径区域最接近球面半径求解模块；各子孔径相位分布数据提取模块；相位数据完整性、可靠性判断模块；各子孔径相位数据处理和分析模块；通过拼接算法获得被测光学非球面全口径的面形误差分布的模块；所述各子孔径相位数据处理和分析模块包括：利用坐标变换把所有子孔径测量数据统一到待测非球面的物理坐标系上的子模块；从各子孔径相位数据中剔除理论非球面与标准球面之间的偏差的子模块；所述通过拼接算法获得被测光学非球面全口径的面形误差分布的模块包括：将位于被测光学非球面中心的子孔径作为基准子孔径，利用所有子孔径间重叠部分的相位分布数据求得所有子孔径相对基准子孔径的相对定位误差，并从测量的相位分布数据中消除该误差的子模块；从各子孔径中采集多个离散的相位数据，并对其进行最小二乘拟合获得被测光学非球面全口径的调整误差，减去该调整误差得到整个被测光学非球面的面形误差分布信息的子模块。 |
