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经营范围
发明名称
Batch Type Heat Treatment Apparatus
摘要
申请公布号
KR101016048(B1)
申请公布日期
2011.02.23
申请号
KR20080069329
申请日期
2008.07.16
申请人
发明人
分类号
H01L21/324
主分类号
H01L21/324
代理机构
代理人
主权项
地址
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